11 月 4 日消息，TechInsights 在當地時間 10 月 24 日的分析中表示，每臺 ASML 0.33 NA EUV 光刻機的功耗就已經達到了 1170 kW，而 0.55NA (High NA) 光刻機的功耗預計將進一步增長至 1400 kW（IT之家注：大致與 1000 臺滿載運行的電火鍋相當）。
▲ ASML 0.33 NA EUV 光刻機
根據該機構統計，目前有 31 家晶圓廠采用 EUV 光刻，到 2030 年將增長至 59 家，而 EUV 光刻設備的數量增幅則將超過 100%。
▲ ASML 0.55 NA EUV 光刻機
總體來看 2030 年全球僅 EUV 光刻機就會消耗 6100 GWh 的電力，這與盧森堡、柬埔寨兩國 2020 年的全國用電量不相上下。而半導體晶圓廠中 EUV 光刻機僅占到總用電量的 11% 左右，其它工藝設備和 HVAC 暖通空調系統也會創造龐大的碳足跡。
分析機構表示，半導體行業正處于十字路口。一方面，EUV 光刻技術對于推動創新和滿足對先進芯片日益增長的需求至關重要；另一方面，EUV 光刻技術對能源的影響巨大。
